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MEMS加工中都用到哪些衬底?

2020-11-20 21:11:05

主要包含以下衬底:

单晶硅衬底;SOI衬底;玻璃衬底;碳化硅衬底,二四族衬底,三五族衬底;蓝宝石衬底,陶瓷衬底,柔性材料衬底,压电材料衬底等

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